真空碳管燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進行,燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。
真空碳管燒結爐主要用于工業(yè)陶瓷、結構陶瓷、金屬陶瓷、硬質合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結設備。系周期作業(yè)式電爐,它是以優(yōu)質石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐,額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下,允許在保護氣氛中,短時間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護氣氛中加熱之用。
1、當使用氫氣或分解氨時,要先通入氮氣,在確保爐中的空氣*被排出時,才能通電升溫,以防止打鳴和爆炸。
2、對鉬絲作加熱元件的燒結爐,在通電前爐體中應通入保護氣體,以防止鉬絲氧化而脆斷。
3、爐門及氣體排出口應點明火燒除,以防止氧氣進入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。
4、若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲,在升溫至1100℃時應停留一段時間(30min左右)再升溫,以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。
5、在升溫前和操作中應不時檢查氣流、水流是否符合要求,以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。
6、停爐前應先斷電,在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。
7、除了因維修必須停爐外,要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開停,會造成加熱元件易于老化,耐火材料易于碎裂,爐內氣氛不純,爐溫容易波動等弊端。