真空爐即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測(cè)量裝置、真空閥門等元件經(jīng)過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。 真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動(dòng)澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。
真空爐熱處理工藝的操作流程：
1、工件在真空狀態(tài)下淬火，應(yīng)使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
2、真空爐的保養(yǎng)應(yīng)在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時(shí)不用時(shí)吸氣，吸潮。
3、國(guó)內(nèi)真空爐的壓升率應(yīng)不大于1.33Pa/h，國(guó)外某些企業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)為0.67Pa/h。
4、真空回火爐應(yīng)該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應(yīng)該大于0.2Mpa，流量應(yīng)可調(diào)。
5、處理鈦合金時(shí)，不宜用氮?dú)庾鳛槔鋮s氣體，因?yàn)殁伜偷诟邷叵路磻?yīng)，形成金黃色的氮化鈦。
6、冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮?dú)?，高溫合金采用百分?9.999的氮?dú)饣驓鍤?，鈦合金采用百分?9.995的氬氣。
7、真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應(yīng)該保持間距。
8、升溫過程中，工件及爐內(nèi)材料會(huì)放氣，使真空度下降。
9、升溫：放入工件后，一般先預(yù)抽至6.67Pa時(shí)方可升溫加熱
10、真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時(shí)效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時(shí)加熱溫度相同。
